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電子氣體的發展現狀

2021-09-24 10:33:24

電子氣在IC產業中的重要性, 以及我國尖端技術的牽制作用, 已經引起我國高層主管部門的高度重視, 因此, 從國家“十五”“863”等多個資金渠道, 已開始對國產電子氣體的研究及產業化生產提供了資金扶持, 所以筆者認為隨著我國IC產業向縱深方向發展。

我國民營企業逐漸做大、做強, 在未來幾年中我國電子氣發展徘徊的局面將會打破, 受IC 產業的極大牽動, 一大批技術比較成熟的電子氣體如NH3、N2O、Cl2、BF3、SF6 ,甚至PH3、B2H6等電子氣品種, 將采用國內外先進的設備、儀控配套進行批量化、產業化的發展。

此外, 世界上電子氣制造廠也將盯住我國IC產業的巨大市場, 屆時競爭將加劇, 由于IC產業發展速度日新月異, 電子氣無疑要“糧草未動、兵馬先行”, 為適應電子氣體發展的急需, 我國各專業研究院所、大專院校, 也將在電子氣的研發上有所突破, 在落后的一些氣體品種上進行實用化研究, 以期在合成、純化等方面有所創新, 終實現我國電子氣體產業化生產的目標。

總之, 我國電子氣體經過三十余年的發展, 盡管在“九五”期間國家在此方面沒有投入, 但我國電子氣在某些品種已在市場的競爭中占有一定的優勢, 這對平衡國際電子氣體在我國的價格起了重要作用, 隨著我國IC產業的發展, 我國電子氣體將有所突破, 市場占有率也必將不斷提高。


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